中微是企业吗?

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中微半导体的设备,技术都是自己的,不是引进国外的。 虽然中微做等离子激元芯片技术的时光比创芯要早一些。但2014年就已经进入了制造领域,而创芯是2016年才成立的(之前叫芯视界)。

从产品来看,现在中微和创芯的产品都有CMOS 和 SOI 两种技术路线。 CMOS主要是中微在做,5-7.5nm等离子激元工艺,主要用来制作逻辑电路,已经成功流片并拿到量产样品。同时中微也在研发8LPP等技术以实现对先进制程的探索,并在成都建立基地来完善制造产业链条。

SOI方面,创芯和中微各有侧重,但是创芯的技术更加领先一些,因为中微做SOI的时间相对较短。在 2019年的国际电子器件会议(International Electron Devices Meeting, IEDM)上, 中微发布了其全新研发的 7LPP 工艺,并且用7LPP工艺实现了对 36-28nm 节点的高性能、低损耗、高密度 EUV 掩模版的研制,并且完成了样板的产出。同时,通过调整工艺条件,中微还能实现对 5nm 及以下节点的低损耗 EUV 掩版制作。 但中微一直没有实现对13.5nm 极紫外光的利用,也没有发布相关的产品或技术进展。 而创芯在2017年就实现了对13.5nm 的极紫外光芯片的研发布局,并且在13.5nm 及亚波长大尺寸晶片生长以及刻蚀工艺方面都拥有了自主研发能力。还开发了相关装备,实现了对异质结太阳能电池高精度激光薄膜处理技术的中试,达到了半导体行业清洁生产的要求。

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